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产品展示--电子半导体设备

去胶设备

去胶设备

产品型号:NA系列
产品概要:功率器件、先进封装、LED、MEMS器件的干法去胶

蒸发镀膜设备

蒸发镀膜设备

产品型号:ESZ_R
产品概要:批处理式高真空镀膜设备

蒸发镀膜设备

产品型号:ei系列
产品概要:批处理式高真空蒸发镀膜设备

刻蚀设备

干法刻蚀设备

产品型号:NE-550EXz
产品概要:用于LED器件量产用的干法刻蚀设备

干法刻蚀设备

产品型号:NE-950EXz
产品概要:用于LED器件量产用的干法刻蚀设备

刻蚀/去胶系统

产品型号:CE-S
产品概要:带有L/L的ICP系统

PECVD设备

PECVD设备

产品型号:CX-500z
产品概要:批次式等离子CVD设备

PECVD设备

产品型号:CC-200Cz
产品概要:Loadlock式等离子CVD设备

溅射设备

溅射设备

产品型号:ACS-4000
产品概要:试验型小型溅射设备

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