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溅射设备:CS-200z
在真空条件下,氩气在DC或RF作用下产生氩离子,高能的氩离子撞击靶材 产生溅射。溅射出的原子或分子离开靶材,沉积在基板表面,形成薄膜。成膜种…
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刻蚀设备:NE-550EXz
在高真空条件下,通过RF高频放电,产生等离子体,在偏压的作用下,通过物理和化学的作用,对特定的材料去除。蚀刻材料:金属,GaN,In P,SiO2,Si …
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刻蚀设备:NE-5700
量产用刻蚀设备NE-5700是可以对应单腔及多腔、重视性价比拥有扩展性的刻蚀设备,注重性价比。
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PECVD:CC-200Cz
在真空条件下,通过射频放电,让气体活化发生化学反应,在基板表面沉积形成薄膜。成膜种类:SiO2,SiNx ,SiON。等离子增强型,膜质好,均匀性高,L…
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蒸发设备:蒸发Ei系列 ei-501z
1.Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制,实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动…
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