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溅射设备

溅射设备

产品型号:CS-200z
产品概要:Loadlock式溅射设备

刻蚀设备

干法刻蚀设备

产品型号:NE-550EXz
产品概要:用于LED器件量产用的干法刻蚀设备

干法刻蚀设备

产品型号:NE-950EXz
产品概要:用于LED器件量产用的干法刻蚀设备

蒸发镀膜设备

蒸发镀膜设备

产品型号:ei系列
产品概要:批处理式高真空蒸发镀膜设备

刻蚀设备

刻蚀/去胶系统

产品型号:CE-S
产品概要:带有L/L的ICP系统

溅射设备

溅射镀膜系统

产品型号:CS-S
产品概要:

AL材料(φ600 X 80t)

产品型号:449405416
产品概要:

Cu材料(φ500 X 60t)

产品型号:449395216
产品概要:

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