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产品特性 / Product characteristics
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• 金属，合金，非金属，化合物等材料的高品质蒸发镀膜 • 镀膜精度高，可达10E-10m • 蒸发镀膜的纯度高，附着力强 • 镀膜的均匀性好，重复性优异 • 配置离子源进行表面处理 • 配置热阻蒸发，省材料 • 上位通信，材料扫描功能 • C2～12inch，不定型片，方片蒸发
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产品应用 / Product application
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• 功率器件 • LED • 光通信/传感器 • LD • 高校及研究所等
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