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产品特性 / Product characteristics
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• 等离子增强型化学气相沉积设备 • 用于SiO2,SiN的高精度薄膜沉积 • 膜层应力稳定,可调范围广泛 • 可换托盘式,基板尺寸切换简便 • 2～12inch,方片,未定型片完美兼容
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产品应用 / Product application
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• 功率器件，LED，光通信/传感器 • 高校及研究所等
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