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产品信息

In-line sputter systems
New SDP-s Series
The SDP Series are in-line sputtering systems for deposition of ITO films and other metal films. 
They can be used to deposit films such as low-resistance ITO films, transparent conductive films, and multilayer chrome films for low-reflection black matrices.
 ・Use of inclined transfer method makes handling of large substrates easy.
・High productivity, with standard carrier throughput of 60 seconds.
・Use of vacuum return method enables smaller footprint.
・For deposition of ITO films for color filters, return unit enables vacuum annealing, for high film quality.
・Uses bottom-mounted independent rack-and-pinion transfer system, a highly reliable system with a well-established track record.
・Enables simple maintenance.
 ・ Transparent conducting films for PDPs
・ Color filters
  SDP- s 1350SDP- s 1550
Effective area (mm2)1200 X13001500 X1800
Number of substrates1 (1,250 x 1,110 mm)2 (750 x 950 mm)
Standard tact time50 sec/carrier60 sec/carrier
Heated deposition methodStandard heated deposition/
non-heated deposition, 
Inclining temperature deposition 
+
vacuum annealing (option)Standard heated deposition/
non-heated deposition, 
Inclining temperature deposition 
+
vacuum annealing (option)

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